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LFHS2 雙軸納米位移平臺
   詳細內容

LFHS2

運動范圍XYµm

75

分辨率XYnm

0,075

典型的噪聲基準 XYnm

0,0075

全方位的重復性XYnm

0,15

線性化(典型的)

0,02%

諧振頻率X / YHz

3000/2000

剛度 (N/µm)

4/3

最大負載(kg-水平使用

1

最大負載(kg-垂直使用

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

120,8 x 120,7 x 28,5

材料

Al

電纜長度(m

2

推薦控制器

High Speed

 

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